LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
FLTZ Variable Frequency Series Multi-channel Chillers
ANWENDUNGEN
Semiconductor air cooling & water cooling Chiller is mainly used for precise temperature control in semiconductor production and testing. Products include fluid fluorinated liquid temperature control (minimum -100 degrees), gas hot and cold rapid temperature change, rapid temperature change chuck, low temperature gas refrigerator (-120 degrees), direct cooling refrigeration unit (-150 degrees), etc. The company applies a variety of algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
Produkt-Parameter
FLTZ -20℃～+90℃
| Modell | FLTZ-203W-2T | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Temperaturbereich | -20℃～+90℃ | -20℃～+90℃ |
| Kühlleistung | 4kW@-10℃ | 4kW@-10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 2kW |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 20L/min@0.5MPa | 20L/min@0.5MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 20L/min | 20L/min |
| Stromkreisunterbrecher | 30A | |
| Gewicht | 400kg | |
| Abmessung cm | 500*900*1600 | |
FLTZ -45℃～+40℃
| Modell | FLTZ-406W/ETCU-015W | |
| Pipeline | channel 1 | channel 2 |
| Temperaturbereich | -45℃～+40℃ | +10℃～+80℃ |
| Kühlleistung | 11kW@-20℃ 5kW@-40℃ |
13kW@+10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 6kW |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35℃ | 10～35℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 40L/min | 20L/min |
| Stromkreisunterbrecher | 80A | |
| Gewicht | 550kg | |
| Abmessung cm | 600*1000*1850 | |
FLTZ -10℃～+80℃
| Modell | FLTZ-203W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Temperaturbereich | -10℃～+60℃ | +30℃～+80℃ | -10℃～+80℃ |
| Kühlleistung | 4kW@-10℃/21kW@+20℃ | 6 kW@+30℃ | 3kW@-10℃ |
| Heizleistung | 4kW | 4.5+6kW | 3kW |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa | 17L/min@0.7MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Stromkreisunterbrecher | 100A | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessung cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -20℃～+50℃
| Modell | FLT-215W/ETCU-015W/ETCU-008W | ||
| Pipeline | channel 1 | channel 2 | channel 3 |
| Temperaturbereich | -20℃～+50℃ | +30℃～+100℃ | +30℃～+40℃ |
| Kühlleistung | 15kW@-10℃ | 13kW@PCW+15℃ | 8kW@PCW+10℃ |
| Heizleistung | 2kW | 6kW | Wärmeverlust der Pumpe |
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 30L/min@0.85MPa | 30L/min@0.85MPa | 20L/min@0.8MPa |
| Heat conducting medium connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Temperatur in der Umgebung | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ | 10～35 ℃ |
| Luftfeuchtigkeit der Umgebung | 30～70% | 30～70% | 30～70% |
| Cooling water flow rate | 15～20℃ | 15～20℃ | 15～20℃ |
| Temperatur des Kühlwassers | 30L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ | 15L/min@15~20℃ |
| Stromkreisunterbrecher | 75A | ||
| Gewicht | 600kg | ||
| Abmessung cm | 600*1000*1700 | ||
FLTZ -45℃~90℃
| Modell | FLTZ-203W/2T Doppelsystem | FLTZ-305W/2T Doppelsystem | FLTZ-406W/2T Doppelsystem | |||
| Temperaturbereich | -20℃~90℃ | -30℃~90℃ | -45℃~90℃ | |||
| Durchflussmenge des wärmeleitenden Mediums | 15~45l/min 6bar max | |||||
| Heizleistung | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 2,5 kW | 3,5 kW | 3,5 kW |
| Kühlleistung | 3kW bei-15℃ | 3kW bei-15℃ | 5kW bei-15℃ | 5kW bei-15℃ | 2,5 kW bei -35℃ | 2,5 kW bei -35℃ |
| Volumen der internen Zirkulationsflüssigkeit | 5L | 5L | 8L | 8L | 8L | 8L |
| Volumen des Ausdehnungsgefäßes | 15L | 25L | 25L | |||
| Wärmeleitendes Medium | Fluorierte Flüssigkeit, Frostschutzmittel, wärmeleitendes Silikonöl, usw. | |||||
| Kältemittel | R404A/ R448 | |||||
| Schnittstelle zum wärmeleitenden Medium | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | ZG3/4 | |||||
| Schnittstelle zum Kühlwasser | 50L/min bei20℃ | 600L/min bei20℃ | 50L/min bei20℃ | |||
| Strom | Dreiphasig 220V/Dreiphasig 400V/Dreiphasig 460V | |||||
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Communication function
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
LNEYA provides customized Chiller services
custom chiller sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom chiller types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom chiller voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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